轉(zhuǎn)瓶等離子清洗機(jī)的等離子體與材料表面如何相互作用？
更新時間：2020-05-27 點擊次數(shù)：1768
轉(zhuǎn)瓶等離子清洗機(jī)在實際應(yīng)用中往往會使用不同的工藝氣體，所產(chǎn)生的等離子體會含有豐富多樣的活性粒子和高能量粒子，這些離子體和固體材料表面的相互作用對等離子體本身或?qū)腆w材料都有重要的意義。
轉(zhuǎn)瓶等離子清洗機(jī)中的粒子將能量傳遞給固體材料表面，同時給等離子體帶來大量的雜質(zhì)。對固體材料來說，由于這些高能粒子的轟擊和傳遞的能量，使固體材料表面發(fā)生各種物理和化學(xué)反應(yīng)，所以研究等離子體和固體材料表面的作用過程，對材料表面的改性、新材料和新工藝的探索都非常有幫助。
不同轉(zhuǎn)瓶等離子清洗機(jī)和各種固體材料表面的作用依賴于等離子體的物理參數(shù)、固體材料的種類、表面的結(jié)構(gòu)和形態(tài)等因素，但等離子體和固體材料表面的作用僅發(fā)生在表層幾到幾十個納米(的深度，因而不會損傷基體的固有性能；而且可賦予材料表面新的實用性能。
吸附和解吸附對于等離子過程是非常重要的，在很多情況下，它們中的一個或者另一個往往是表面過程的決定因素。
吸附源于入射分子與表面間的吸引力。吸附分為兩種：物理吸附是源于分子與表面的弱相互作用，物理吸附是放熱的，物理吸附的分子與表面的結(jié)合能非常弱，吸附后它們可以迅速地從表面進(jìn)行擴(kuò)散；當(dāng)吸附原子或分子與表面原子形成化學(xué)鍵以后，便構(gòu)成了化學(xué)吸附，此過程為強(qiáng)放熱過程。
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